特許
J-GLOBAL ID：200903042329336425
全反射テラヘルツ波測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
, 柴田 昌聰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-063878
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224449
出願日： 2007年03月13日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】小型化が可能な全反射テラヘルツ波測定装置を提供する。【解決手段】全反射テラヘルツ波測定装置1は、テラヘルツ波を用いて全反射測定法により測定対象物Sの情報を取得するものであって、光源11、分岐部12、チョッパ13、光路長差調整部14、偏光子15、ビームスプリッタ17、テラヘルツ波発生素子20、内部全反射プリズム31、テラヘルツ波検出素子40、1/4波長板51、偏光分離素子52、光検出器53A、光検出器53B、差動増幅器54およびロックイン増幅器55を備える。内部全反射プリズム31は、いわゆる無収差プリズムであって、入射面31a,出射面31bおよび反射面31cを有する。内部全反射プリズム31の入射面31aにテラヘルツ波発生素子20が一体に設けられ、内部全反射プリズム31の出射面31bにテラヘルツ波検出素子40が一体に設けられている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光を出力する光源と、
前記光源から出力された光を2分岐して、その2分岐した光のうち一方をポンプ光とし他方をプローブ光として出力する分岐部と、
前記分岐部から出力されたポンプ光を入力することでテラヘルツ波を発生し出力するテラヘルツ波発生素子と、
前記テラヘルツ波発生素子から出力されたテラヘルツ波を入射面に入力し、その入力したテラヘルツ波を内部で伝播させるとともに反射面で全反射させて、該テラヘルツ波を出射面から外部へ出力する内部全反射プリズムと、
前記内部全反射プリズムの前記出射面から出力されたテラヘルツ波と、前記分岐部から出力されたプローブ光とを入力し、これらテラヘルツ波とプローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出素子と、
を備え、
前記内部全反射プリズムの前記入射面に前記テラヘルツ波発生素子が一体に設けられ、
前記内部全反射プリズムの前記出射面に前記テラヘルツ波検出素子が一体に設けられ、
前記内部全反射プリズムの前記反射面に配置された測定対象物についての情報を、テラヘルツ波の全反射の際に生じる該テラヘルツ波のエバネセント成分により取得する、
ことを特徴とする全反射テラヘルツ波測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2G059BB09
, 2G059HH01
, 2G059JJ12
, 2G059JJ13
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059JJ24
, 2G059KK01
