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J-GLOBAL ID：201302200952615967   整理番号：13A0650375

酸化マクロポーラスシリコンからの光ルミネセンス:ナノリップルと歪シリコンナノ構造

Photoluminescence From Oxidized Macroporous Silicon: Nanoripples and Strained Silicon Nanostructures

著者 (5件)： RAY Mallar (Bengal Engineering and Sci. Univ., Howrah, IND) ,  JANA Arpita (Bengal Engineering and Sci. Univ., Howrah, IND) ,  GHANTA Ujjwal (Bengal Engineering and Sci. Univ., Howrah, IND) ,  BANDYOPADHYAY Nil Ratan (Bengal Engineering and Sci. Univ., Howrah, IND) ,  HOSSAIN Syed Minhaz (Bengal Engineering and Sci. Univ., Howrah, IND)
資料名： IEEE Transactions on Device and Materials Reliability  (IEEE Transactions on Device and Materials Reliability)
巻： 13  号： 1  ページ： 87-92  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： W1320A  ISSN： 1530-4388  CODEN： ITDMA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フッ化水素酸とジメチル/フォルムアミド溶液内で生成するマクロポーラスSiの逐次酸化エッチングにより均質マクロモフォロジーを有する発光多孔質Siを合成した。こうしてつくるマクロポーラステンプレートは青/緑色領域にピークをもつ室温光ルミネセンス(PL)を示した。アルカリ溶液を使ってこの酸化したテンプレートを処理すると室温でのPLが消失し,マクロ細孔構造が変化した。これらの知見に基づいて,ルミネセンスの起源はナノリップル歪Siナノ構造の存在に由来することは明らかである。これは興味ある物理現象ではあるが,オプトエレクトロニクスデバイス光源に応用できるまでは期待できそうにない。

シソーラス用語： ナノ構造 ,  *光ルミネセンス ,  ケイ素 ,  歪 ,  *多孔質シリコン ,  *溶液成長 ,  細孔 ,  細孔構造
準シソーラス用語： ナノリップル ,  歪シリコン

分類 (1件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸化 ,  マクロポーラス ,  シリコン ,  光ルミネセンス ,  ナノリップル ,  歪シリコン ,  ナノ構造