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J-GLOBAL ID：201302203304583200   整理番号：13A0291885

次世代ウエハステージ運動制御:結合システム同定とロバスト制御

Next-Generation Wafer Stage Motion Control: Connecting System Identification and Robust Control

著者 (6件)： OOMEN Tom (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN HERPEN Robbert (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  QUIST Sander (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN DE WAL Marc (Philips Applied Technol.) ,  BOSGRA Okko (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  STEINBUCH Maarten (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2012 Vol.3  ページ： 2455-2460  発行年： 2012年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 次世代精密動作システムは,スループットと精度に関する厳しい要求を満足するために軽量である。このような軽量システムでは,制御装置の交差領域において典型的に減衰の少ない柔軟な動特性を示す。現在のモデリングと動き制御設計手法はこの柔軟な動特性を制御するために要求されるモデルの正確さを持っていない。次世代動き制御のための,複合システム同定及びロバスト制御フレームワークを提供した。この手法は高次動特性と多入力多出力を有する機械システムのための正確な同定と不確定性モデリングのための,新しい,計算機により達成可能な技術を提供する。産業のウェハステージへの応用はシステマチックな操作により,重要で保証された性能改善を示した。

シソーラス用語： 運動制御 ,  *ウエハ【IC】 ,  スループット ,  ロバスト制御 ,  *システム同定 ,  動特性 ,  技術 ,  不確実性 ,  制御 ,  *位置決め装置
準シソーラス用語： *X-Yステージ ,  精密制御 ,  設計手法 ,  不確定性

分類 (2件)： サーボ機構  (IC03030Q) ,  システム同定  (IA02040O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 次世代 ,  ウエハ ,  ステージ ,  運動制御 ,  システム同定 ,  ロバスト制御