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J-GLOBAL ID：201302204315541963   整理番号：13A1756536

排気と真空ポンプ

Evacuation and Vacuum Pumps

著者 (2件)： 湯山純平 (株式会社アルバック) ,  末次祐介 (高エネルギー加速器研究機構)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 56  号： 6  ページ： 210-219 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ここでは,排気過程の基本概念と様々な真空ポンプの重要な特徴を紹介する。排気の時定数,排気速度及びコンダクタンスを含むいくつか重要な項を紹介して,排気機構の理解を支援し,真空システムの設計が可能になるようにする。真空ポンプをそれらの動作原理,構造,及び特性によって系統的に分類した。これは,読者が適切な真空ポンプを選び,様々な状況でリーズナブルな真空システムを実現するのに役立つであろう。

シソーラス用語： 排気 ,  *真空ポンプ ,  時定数 ,  速度 ,  分子運動論 ,  流量 ,  配管 ,  原理 ,  真空容器 ,  コンダクタンス ,  *排気速度 ,  *気体運動論 ,  行為
準シソーラス用語： *真空排気 ,  動作原理

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (17件)：

• 1) 日本規格協会:真空技術—用語—JIS Z8126-2 (1999) .
• 2) 日本機械学会:機械工学便覧 B5 流体機械(丸善,東京,1986)p. 159.
• 3) 小宮宗治:実験物理学講座「真空技術」(共立出版,東京,1985)p. 196, 199.
• 4) (株)アルバック:カタログおよびプレゼン資料.
• 5) アルバック・クライオ(株):研修資料.

タイトルに関連する用語 (2件)： 排気 ,  真空ポンプ