水熱合成法によってガラスおよび柔軟な粘土基板上に作製したナノ構造ZnO薄膜の光電子工学特性

VENKATACHALAM Shanmugam; HAYASHI Hiromichi; EBINA Takeo; NAKAMURA Takashi; NANJO Hiroshi

文献

J-GLOBAL ID：201302206336236276 整理番号：13A0983033

水熱合成法によってガラスおよび柔軟な粘土基板上に作製したナノ構造ZnO薄膜の光電子工学特性

Optoelectronic Properties of Nanostructured ZnO Thin Films Prepared on Glass and Transparent Flexible Clay Substrates by Hydrothermal Method

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資料名：
巻： 52 号： 5,Issue 2 ページ： 05DA04.1-05DA04.6 発行年： 2013年05月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

本研究では,柔軟な有機-無機材料から成るハイブリッド型発光ダイオード(HyLED)に応用するための透明で柔軟な高分子を添加した粘土(P-粘土)基板を巧く作製することができた。示差熱熱重量同時分析(TG-DTA)曲線から,P-粘土の熱抵抗はプラスティック基板よりも大きいことが分かった。イオンビームスパッタリング(IBSD)法によって,新しく作製したP-粘土基板上にインジウムをドープしたスズ酸化物(ITO)薄膜を堆積した。作製したままのITO/P-粘土を,220°Cで1時間熱処理をした。滑らかな表面を持つP-粘土上の熱処理されたITO膜の透明性と電気伝導度は,粗い表面を持つP-粘土上の薄膜よりも優れていることが分かった。IBSD法によって,熱処理したITO/P-粘土,ITO/ガラス,および粘土基板上にZnOのシード層を堆積した。表面の形態に関する研究から,滑らかな表面を持つZnOのシード層の皮膜されたITO/P-粘土基板が,縦方向に配列したZnOナノロッドアレイを成長させるのに最適であることが分かった。構造に関する研究から,低温溶液成長法によって成長させたZnOナノロッドは,結晶性に優れ,高純度であることが分かった。光学的研究から,成長させたままのZnOナノロッドアレイは優れた光学的特性を持つことが分かった。(翻訳著者抄録)

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酸化物薄膜

引用文献 (30件)：

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