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J-GLOBAL ID：201302206370820106   整理番号：12A1812401

日本の高度成長期を支えたフォトリソグラフィ

Photolithography as Supporting the High-growth Era in Japan

著者 (1件)： 有原正彦 (ファインテック研究所)
資料名： 日本印刷学会誌  (Journal of Printing Science and Technology)
巻： 49  号： 2  ページ： 101-113 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： G0233A  ISSN： 0914-3319  CODEN： NIGAEV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 日本の高度成長期(1956~1974年頃)には,写真製版技術を使ったIC半導体や電子機器が次々と開発され商品化され,IC半導体加工分野では,フォトリソグラフィなる言葉が飛び交うようになった。この言葉が世に出てきた背景や経緯について述べた。カラーテレビ用シャドウマスクと液晶用カラーフィルターはフォトリソグラフィを付き合った代表的な製品であるが,これら製品の開発から量産,販売に至るまでの主要な技術的課題や営業課題について,関係の深かった筆者ができる限り史実に基づき言及した。フォトリソグラフィとは,従来,印刷業界で使われてきた写真製版やフォトエッチングと同じ概念であった。テレビ用シャドウマスク及び液晶用カラーフィルターの両事業はフォトリソグラフィによって加工されたものである。

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,  日本 ,  微細加工 ,  集積回路 ,  *シャドウマスク ,  *カラーテレビジョン ,  改良 ,  *フォトレジスト ,  カゼイン ,  *カラーフィルタ ,  透過率 ,  顔料 ,  *フォトエッチング ,  *写真製版
準シソーラス用語： 品質改善

分類 (3件)： 写真製版  (ZA05020E) ,  電気・電子部品一搬  (NA05010H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• 1) 高橋 清監修, "半導体·金属材料用語辞典", 工業調査会発行, (1999).
• 2) 古関敬三, "フォトエッチング", 日刊工業新聞社発行, (1968).
• 3) 化学大辞典編集委員会編集, "化学大辞典", 共立出版発行 (2003).
• 4) 岡崎信次, 鈴木章義, 上野 巧, "はじめての半導体リソグラフィ技術, 工業調査会発行, (2006).
• 5) 武内 敏: 日本印刷学会誌, 38, 127 (2001).

タイトルに関連する用語 (4件)： 日本 ,  高度 ,  成長期 ,  フォトリソグラフィ