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J-GLOBAL ID：201302206657338232   整理番号：13A0026867

薄膜圧電MEMS

Thin-film piezoelectric MEMS

著者 (2件)： EOM Chang-Beom (Univ. Wisconsin-Madison) ,  TROLIER-MCKINSTRY Susan (Pennsylvania State Univ.)
資料名： MRS Bulletin  (MRS Bulletin)
巻： 37  号： 11  ページ： 1007-1017  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： W1595A  ISSN： 0883-7694  CODEN： MRSBEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 次世代の圧電薄膜をマイクロメカニカルシステム(MEMS)とナノメカニカルシステム(NEMS)との集積を概説した。圧電MEMSの概要から始め,圧電MEMSの中心的な材料,圧電薄膜の成長と集積,多数の長さスケールにわたる圧電MEMSの利用(適応・調節光学,エネルギーハーベスティング,共振器とフィルタ,昆虫ロボット,CMOS論理を越えた圧電NEMS)について説明し,将来展望を述べた。

シソーラス用語： *MEMS ,  薄膜 ,  *薄膜成長 ,  エネルギー供給 ,  フィルタ ,  ロボット ,  *マイクロロボット ,  歩行ロボット ,  *CMOS構造 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  窒化アルミニウム ,  圧電気 ,  エピタクシー ,  *適応光学
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  NEMS ,  PZT【鉛化合物】 ,  *エネルギーハーベスティング ,  オプティカルMEMS ,  *圧電性薄膜 ,  光MEMS ,  多脚型ロボット

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  圧電 ,  MEMS