文献

J-GLOBAL ID：201302209288962554   整理番号：13A1749156

エコフレンドリーナノインプリントを用いたバイオマスから導出した光学膜の作製

Fabrication of optical film derived from biomass using eco-friendly nanoimprint lithography

著者 (11件)： TAKEI Satoshi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  TAKEI Satoshi (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MURAKAMI Gaku (Richell, Toyama, JPN) ,  MORI Yuto (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  ICHIKAWA Takumi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  SEKIGUCHI Atsushi (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  OBATA Tsutomu (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  YOKOYAMA Yoshiyuki (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  MIZUNO Wataru (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  SUMIOKA Junji (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  HORITA Yuji (Richell, Toyama, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8682  ページ： 868224.1-868224.9  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造の作製のためにナノインプリントリソグラフィーが期待されている。本稿では,糖類バイオマスからエコフレンドリーナノインプリントリソグラフィーを用いて導出した光学膜の作製と化学設計を計提出した。このサブ波長構造をもつバイオマスから導出した光学膜が設計仕様を満たすことを示した。この光学膜の直線重合多糖類が側鎖末端中のアクリレート基の高濃度により高感度をもち,またバルキー二糖類を含む環成分が適切な光学的性質をもつことを示した。この光学膜はサブ波長構造をもつ反射防止材料と化学設計概念として適切な屈折率をもつ材料の開発に応用できる。

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  *回路パターン形成 ,  *フォトリソグラフィー ,  バイオマス ,  炭水化物 ,  多糖類 ,  側鎖 ,  高感度 ,  反射防止膜 ,  屈折率 ,  *高分子薄膜 ,  サブ波長 ,  アクリラート類
準シソーラス用語： エコフレンドリー ,  *ナノインプリントリソグラフィー ,  設計仕様

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

タイトルに関連する用語 (4件)： バイオマス ,  導出 ,  光学膜 ,  作製