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J-GLOBAL ID：201302209525911609   整理番号：13A0023553

集束イオンビームミリングした金属ガラスを使ったSTXM5.3.2.2のビームプロフィルのナイフエッジ測定

A knife-edge measurement of the beam profile of STXM 5.3.2.2 using a focussed ion beam milled metallic glass

著者 (10件)： BURKE Kerry B. (Centre for Organic Electronics, Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS) ,  LUBER Erik J. (Chemical and Materials Engineering, Univ. of Alberta, T6G 2V4 Edmonton, Alberta, CAN) ,  LUBER Erik J. (National Res. Council Canada, National Inst. for Nanotechnology, T6G 2M9 Edmonton, Alberta, CAN) ,  HOLMES Natalie P. (Centre for Organic Electronics, Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS) ,  MURRAY Andrew J. (Fibics Inc., K1A 0G1 Ottawa, Ontario, CAN) ,  BELCHER Warwick J. (Centre for Organic Electronics, Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS) ,  ZHOU Xiaojing (Centre for Organic Electronics, Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS) ,  MITLIN David (Chemical and Materials Engineering, Univ. of Alberta, T6G 2V4 Edmonton, Alberta, CAN) ,  MITLIN David (National Res. Council Canada, National Inst. for Nanotechnology, T6G 2M9 Edmonton, Alberta, CAN) ,  DASTOOR Paul C. (Centre for Organic Electronics, Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS)
資料名： Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 185  号： 11  ページ： 453-457  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *イオンエッチング ,  *金属ガラス ,  *X線顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  *ナイフエッジ ,  分解能 ,  シンクロトロン放射 ,  *ビーム ,  金合金 ,  ニッケル含有合金 ,  ハフニウム含有合金 ,  分布 ,  点像分布関数 ,  焦点深度 ,  FWHM
準シソーラス用語： *X線ビーム ,  強度分布 ,  *透過型走査X線顕微鏡 ,  Airy関数

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集束イオンビーム ,  ミリング ,  金属ガラス ,  ビーム ,  プロフィル ,  ナイフエッジ