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J-GLOBAL ID：201302209694064540   整理番号：13A1149141

大光口径MEMS Fabry-Perot干渉計のためのBragg反射器

Bragg reflectors for large optical aperture MEMS Fabry-Perot interferometers

著者 (3件)： RISSANEN Anna (VTT Technical Res. Centre of Finland, Espoo, FIN) ,  MANNILA Rami (VTT Technical Res. Centre of Finland, Espoo, FIN) ,  ANTILA Jarkko (VTT Technical Res. Centre of Finland, Espoo, FIN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8373  ページ： 83732R.1-83732R.8  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高アスペクト比ミラー構造を,直径1cmまでの膜で,600~1000nm間の波長に関して作製することに成功した。Bragg反射器光薄膜対は,LPCVD堆積ポリSi/SiリッチSiN及びALD Al₂O₃/TiO₂からなっていた。膜収率は,低応力LPCVD ポリSi-SiN薄膜スタックの方がより高かった。Al₂O₃及びTiO₂反射器では,収率は貧弱であった。これらの結果に基づいて,LPCVD薄膜Bragg反射器が,チューナブルMEMS Fabry-Perot干渉計における大光口径ミラーとしての使用により有望であると結論した。

シソーラス用語： *Fabry-Perot干渉計 ,  MEMS ,  大口径 ,  *反射器 ,  *反射鏡 ,  *鏡 ,  *アスペクト比 ,  *薄膜成長 ,  LPCVD ,  ポリシリコン ,  窒化ケイ素 ,  化学蒸着 ,  酸化アルミニウム ,  酸化チタン ,  収率
準シソーラス用語： *Bragg反射器 ,  *ミラー ,  *高アスペクト比 ,  ALD【蒸着】

分類 (5件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  その他の光学機器  (QF05060C) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 口径 ,  MEMS ,  Fabry-Perot干渉計 ,  Bragg反射器