文献

J-GLOBAL ID：201302211002078410   整理番号：13A1431745

スクイーズ圧力と空気静圧力を組み合わせたガラス基板の非接触搬送方法の開発(第一報)-傾斜する基板に作用する搬送力の数値解析-

Development of Non-contact Transportation for Substrate by Combination of Squeeze and Aerostatic pressure (1st report)-Numerical Analysis of Drag Force on Inclined Substrate-

著者 (3件)： 磯部浩已 (長岡技科大 工) ,  渡邉拓 (長岡技科大 大学院) ,  渡邉拓 (JFEスチール)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 79  号： 9  ページ： 868-872  発行年： 2013年09月05日 
JST資料番号： F0268C  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,基板を水平面から傾斜させることで搬送力となる水平方向分力を発生させる方法を提案した。この原理を検証するために,振動板と基板の間の空気膜と,基板を浮揚させるための静圧テーブルの間の空気膜の圧力分布について,流体潤滑理論を用いたモデルを提案し,水平方向分力,基板の浮上量や姿勢を数値解析により求め,実験結果と比較した。これにより得た主な知見を次に示した。1)ガラス基板の非接触搬送を実現する新たな方法を提案したこと,2)非接触で基板に搬送力を作用させるために,空気静圧力により浮上している基板の上面に,超音波たわみ振動する振動板を配置し,励起されるスクイーズ圧力により基板を傾斜させるモデルを仮定したこと,3)市販ボルト締めランジュバン振動子を用いて,励起周波数28kHzで長手方向にたわみ振動するA5052製の振動板(長さ32mm×幅20mm×厚さ5mm)で実験をしたこと,4)圧縮性レイノルズ方程式と基板の運動方程式を数値解析した結果,スクイーズ圧力,基板と静圧テーブル間の静圧力,基板の浮上量,傾きおよび牽引力については実験結果と一致すること,5)これより設計した搬送ユニットで,長さ120mm×幅90mm×厚さ0.5mmのガラス基板を非接触搬送できること。

シソーラス用語： 運搬 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  解析モデル ,  *数値解法 ,  *静圧 ,  *超音波振動 ,  *傾斜角 ,  数値解析 ,  テーブル【機械要素】 ,  間隙圧 ,  引張力
準シソーラス用語： *非接触搬送 ,  *ガラス基板 ,  *スクイーズ作用 ,  *間隙空気圧 ,  浮上高さ ,  牽引力

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気・電子部品一搬  (NA05010H) ,  数値計算  (JE02000J)

引用文献 (14件)：

• 1) H. Isobe and A. Kyusojin : Non-contact guideway for substrate transportation by ultrasonic oscillation, Int. J. Auto. Tech., 2, 3 (2008) 199.
• 2) 磯部浩已:超音波音響粘性力と空気静圧力を組み合わせた非接触基板搬送路 (第一報) —非接触ガイド機能の開発—,精密工学会誌, 76, 4 (2011) 433.
• 3) 磯部浩已:静圧浮揚する基板に作用する超音波振動板からの非接触搬送力に関する実験的検証,日本AEM学会誌, 21, 1 (2012) 156.
• 4) 吉本成香,山崎友美,戸田和之,宮武 正明:超音波振動を利用した非接触チャックに関する研究,日本機論(C), 73, 728 (2007) 1208.
• 5) 小塚晃透,安井 久一,辻内 亨,砥綿篤哉,飯田康夫:定在波音場中で微小物体に作用する音響放射力の測定と計算,信学論(A), J91, 12 (2008) 1156.

タイトルに関連する用語 (7件)： スクイーズ ,  静圧力 ,  ガラス基板 ,  非接触搬送 ,  開発 ,  搬送力 ,  数値解析