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J-GLOBAL ID：201302214111710710   整理番号：13A1594099

マイクロ作製可変インダクタンス平面コイルを用いたナノスケール変位センシング

Nanoscale displacement sensing using microfabricated variable-inductance planar coils

著者 (6件)： COSKUN M. Bulut (Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS) ,  THOTAHEWA Kasun (Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS) ,  YING York-sing (Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS) ,  YUCE Mehmet (Dep. of Electrical and Computer Systems Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS) ,  NEILD Adrian (Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS) ,  ALAN Tuncay (Lab. for Micro Systems, Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Monash Univ., Melbourne 3800 Victoria, AUS)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 103  号： 14  ページ： 143501-143501-4  発行年： 2013年09月30日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *センサ ,  *圧力センサ ,  *薄膜インダクタ ,  *電磁装置 ,  磁気ギャップ ,  インダクタンス ,  発振器 ,  周波数 ,  ヒステリシス ,  分解能
準シソーラス用語： 変位検出器 ,  *変位センサ ,  ナノスケール ,  *スパイラルインダクタ ,  *平面コイル ,  空気ギャップ ,  Colpitts発振器

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 作製 ,  可変 ,  インダクタンス ,  平面コイル ,  ナノスケール ,  変位 ,  センシング