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J-GLOBAL ID：201302218277037327   整理番号：13A0994308

マイクロギャップにおける放電開始電圧の測定

Measurement of Breakdown Voltage Across a Micro Gap

著者 (4件)： 大宮和樹 (千葉工業大学 工学部 電気電子情報工学科) ,  柏木康秀 (木更津工業高等専門学校 電気電子工学科) ,  鈴木進 (千葉工業大学 工学部 電気電子情報工学科) ,  伊藤晴雄 (千葉工業大学 工学部 電気電子情報工学科)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 133  号： 3  ページ： 142-143 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 静電気型マイクロモータやアクチュエータ等のマイクロメータオーダーのエアギャップの絶縁破壊電圧を確認するため,ギャップ長が10から180μmの球電極マイクロギャップの放電開始電圧を測定し,これまでに提示されている二つの実験式について比較した。実験装置および測定方法を説明し,実験結果を報告した。既発表の式よりも短いギャップ長ではあるが,放電開始電圧はその式によるものと似た傾向を示した。

シソーラス用語： *放電開始電圧 ,  *放電 ,  *電圧測定 ,  実験式 ,  *静電気応用 ,  マイクロモータ ,  アクチュエータ ,  マイクロギャップ放電 ,  静電気放電 ,  絶縁破壊電圧 ,  *電圧
準シソーラス用語： 静電気モータ

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (16件)：

• (1) P. G. Slade and E. D. Taylor : “Electrical Breakdown in Atmospheric Air between Closely Spaced (0.2μm-40μm) Electrical Contacts”, <i>IEEE Trans. Comp. & Pack. Tech.</i>, Vol. 25, No. 3, pp. 390-396 (2002)
• (2) D. B. Go and D. A. Pohlman : “A mathematical model of the modified Paschen's curve for breakdown in microscale gaps”, J. Appl. Phys., Vol. 107, 103303 (2010).
• (3) Japanese Standards Association : “Voltage measurement by means of standard air gaps”, JIS C 1001 : 2010 (J) (in Japanese)
• 日本規格協会:「標準気中ギャップによる電圧測定方法」,JIS C 1001 : 2010 (J)
• (4) K. Hidaka : High-voltage engineering, p. 46, SUURIKOUGAKU-SHA (2009) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロギャップ ,  放電開始電圧