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J-GLOBAL ID：201302219138683288   整理番号：13A1895367

水素漏れ検出のためのアンテナコイル型センサデバイスの開発

Development of an antenna coil type sensor device for hydrogen leakage detection

著者 (2件)： TOKUTAKE K. (Graduate School of Engineering, Yokohama National Univ., 79-5, Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama City, Kanagawa ...) ,  OKAZAKI S. (Yokohama National Univ., Fac. of Engineering, 79-5, Tokiwadai, Hodogaya-ku, Yokohama City, Kanagawa Prefecture ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 191  ページ： 165-170  発行年： 2014年02月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 信頼性の高いマルチポイント水素漏れ検出システムを容易に実現できる,無線周波数識別(RFID)タグに適用するために,アンテナコイル型水素ガスセンサデバイスを作製し,評価した。白金薄膜からなるアンテナコイルを,石英ガラス基板上にフォトリソグラフィにより形成した。次いで,スピンコート法により,白金担持酸化タングステン薄膜をコイル上に堆積させた。空気中と窒素ガスでバランスをとった4体積%の水素中で,センサデバイスの電気的特性(Sパラメータ)の周波数依存性を,300kHzから3GHzの範囲で調査した。水素ガスへの暴露に伴う,S11の周波数依存性のかなりの変化が観察された。結果は,このセンサデバイスの高感度と,水素漏れについての情報の無線伝送の可能性を示した。90%の応答時間は,188MHzで約3秒であった。空気中の水素に対する感度は,窒素雰囲気中より低かった。これは,酸素によるタングステンブロンズの,競争酸化反応に起因する可能性があった。しかし,センサデバイスは,爆発下限界以下の濃度範囲で水素ガスを検出できた。また,センサデバイスと従来のアンテナコイルとの間の,S21における変化も実証した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *水素 ,  *ガス漏れ ,  *ガスセンサ ,  *RFID ,  アンテナ ,  *白金 ,  金属薄膜 ,  石英ガラス ,  基板 ,  フォトリソグラフィー ,  スピンコーティング ,  *酸化タングステン ,  酸化物 ,  *薄膜 ,  周波数依存性 ,  無線伝送 ,  応答時間 ,  検出限界 ,  爆発限界 ,  気体
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  酸化物薄膜 ,  水素ガス

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  ガス化学工業  (YB02070O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 水素 ,  アンテナコイル ,  センサデバイス ,  開発