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J-GLOBAL ID：201302220521271080   整理番号：13A0228878

標準カタログ部品からのR&D真空コーティングツールの設計と構築

Designing and Building a R&D Vacuum Coating Tool from Standard Catalog Components

著者 (1件)： MOORE J. W. (MDC Vacuum Products LLC, CA)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th  ページ： 117-119  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標準カタログ部品や真空工業の余剰部品を利用して,最も新しいコーティング仕様に合致する経済的な真空コーティングシステムを構築するための方法と留意点を紹介した。コーティングプロセスの成功を確実にするためには,真空度,真空ポンプ及び重要部品の特性などの基本パラメータを決定する必要がある。コーティングシステムの例として,3kW電子ビーム源及び4インチ試料ホルダーを選択し,膜の均一性が5%以下で真空度が5×10^-7Torrのシステムを説明した。また各種の材料の蒸着速度のデータと標準部品参照リストを示した。検討したハードウェアを含む真空システムの全費用は4万ドル以下であり,追加する電子制御装置は約3万ドルである。

シソーラス用語： *蒸着装置 ,  商品カタログ ,  真空度 ,  真空ポンプ ,  *電子ビーム蒸着 ,  堆積速度 ,  *真空装置 ,  原価 ,  薄膜成長 ,  蒸着膜

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (8件)： 標準 ,  カタログ ,  R&D ,  真空 ,  コーティング ,  ツール ,  設計 ,  構築