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J-GLOBAL ID：201302223697768983   整理番号：13A1829567

微小及び高真空領域における圧力測定感度の向上によるMEMS Piraniセンサの最適化

Optimized MEMS Pirani sensor with increased pressure measurement sensitivity in the fine and high vacuum regime

著者 (6件)： VOELKLEIN Friedemann (RheinMain Univ. of Applied Sciences, Inst. for Microtechnologies, Ruesselsheim 65428, DEU) ,  GRAU Mario (RheinMain Univ. of Applied Sciences, Inst. for Microtechnologies, Ruesselsheim 65428, DEU) ,  MEIER Andreas (RheinMain Univ. of Applied Sciences, Inst. for Microtechnologies, Ruesselsheim 65428, DEU) ,  HEMER Grit (RheinMain Univ. of Applied Sciences, Inst. for Microtechnologies, Ruesselsheim 65428, DEU) ,  BREUER Lars (RheinMain Univ. of Applied Sciences, Inst. for Microtechnologies, Ruesselsheim 65428, DEU) ,  WOIAS Peter (Dep. of Microsystems Engineering, Univ. of Freiburg, Freiburg 79110, DEU)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 31  号： 6  ページ： 061604-061604-12  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小及び高真空領域(10⁰~10^-6Torr)における圧力測定のための,感度の向上によるマイクロエレクトロメカニカルシステムPiraniセンサの最適化を述べた。圧力の関数としての信号電圧の理論計算は,測定電圧-圧力応答と良く一致した。作製技術,熱モデリング及び有限要素法シミュレーションを用いた設計最適化,及び測定結果を述べた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *真空計 ,  *MEMS ,  高真空 ,  真空 ,  *圧力測定 ,  *最適化 ,  圧力効果 ,  電圧 ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： *Pirani真空計 ,  微小真空 ,  *測定感度 ,  圧力依存性 ,  信号電圧 ,  有限要素法シミュレーション

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小 ,  高真空 ,  測定感度 ,  MEMS ,  最適化