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J-GLOBAL ID：201302225852991646   整理番号：13A0960646

付加情報に基づくX-Yステージの新しい6自由度測定法

A new 6-degree-of-freedom measurement method of X-Y stages based on additional information

著者 (8件)： GAO Zhenyu (Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  GAO Zhenyu (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  HU Jinchun (Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  HU Jinchun (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  ZHU Yu (Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  ZHU Yu (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  DUAN Guanghong (Dep. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  DUAN Guanghong (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 37  号： 3  ページ： 606-620  発行年： 2013年07月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 制御システムがX-Yステージの姿勢をリアルタイムに調整出きるように6自由度(6-DOF)変位を,高い正確性を持ってリアルタイムに測定することが必要な場合がある。測定結果の正確性とリアルタイム性は,センサーそれ自体のみならずそのセンサーを用いた計算アルゴリズムの正確性と取組み努力にもまた依存している。センサーによる測定データと変位間の関係は大変に複雑で,6自由度変位のすべてを考慮する場合は,通常は強い非線形の結合方程式で表現されるので,計算の正確性とその取組み努力を同時に確保するのは困難なことである。本稿では,9個の干渉計による付加情報に基づいてX-Yステージ用6自由度変位測定セットアップを設計し,対応する計算アルゴリズムを導いた。計算の正確性が確保できるよう,回転については通常その範囲が非常に小さく二つの干渉計の差分演算を用いることで高精度の計算結果を得ることが出来,平行移動については付加的干渉計情報をフルに活用することで回転変位の計算誤差の伝播無しに閉形式解が導かれた。更に,本アルゴリズムは単純なフォームで繰返し計算や超越関数の計算を含まないのでリアルタイム計算向けである。本アルゴリズムは,回転及び平行移動変位それぞれについて10-15rad及び10-13mmの計算精度を示すことが出来たが,これはリソグラフィー用ウェファーステージ向けのシミュレーション結果に見ることが出来る。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  自由度 ,  *干渉測定 ,  方程式 ,  *変位測定
準シソーラス用語： *X-Yステージ ,  多自由度 ,  *干渉計測定法 ,  閉形式解 ,  情報付加

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (4件)： 付加情報 ,  X-Yステージ ,  6自由度 ,  測定法