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J-GLOBAL ID:201302226653449006   整理番号:13A0609227

種々の厚みを持つ第三高調波シリカ反射防止膜の設計製造及び変性

Design,Preparation and Modification of Third-Harmonic Silica Antireflective Coatings with Different Thickness
著者 (5件):
資料名:
巻: 28  号:ページ: 119-124  発行年: 2012年 
JST資料番号: C2431A  ISSN: 1001-4861  CODEN: WHUXEO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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本研究で,種々の厚みがある,第三高調波の抗反射(AR)塗工を光学方定式により設計した。前駆体としてのオルトけい酸テトラエチル(TEOS)と,触媒としてのアンモニアを使用して,SiO_2ゾルをゾル-ゲル法により製造した。設計したAR塗工を,ディップコーティングプロセスにより得た。AR塗工の耐摩耗性が,膜厚の増加に伴い増加する事がわかり,これは第三高調波AR塗工の耐摩耗性が,伝統的4分の1第三高調波AR塗工より,はるかに良い事を示す。加えて,新しくて超高速の表面変性法を,変性剤としてのメチル水素シリコーン油を用いて提案した。AR塗工の水接触角は,表面変性後に,23.4°から95°まで増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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化学一般その他 
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