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J-GLOBAL ID：201302227686247502   整理番号：13A0012246

PLD法を用いたマイクロロータ用等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石の作製

Isotropic Nd-Fe-B Thick-film Magnets Applied for Micro-rotors Prepared by PLD Method

著者 (5件)： 中野正基 (長崎大学) ,  板倉賢 (九州大学) ,  柳井武志 (長崎大学) ,  山下文敏 ((株) ミネベア) ,  福永博俊 (長崎大学)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 132  号： 10  ページ： 844-848 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 40μm/h程度の高速成膜手法条件下で残留磁化の向上が期待されるナノコンポジット磁石膜の組成の試料を作製し添加物の効果を検討すると共に厚膜化および打ち抜き加工性について検討した。Nd量の異なるNd-Fe-B合金やZr,Nb等を微量添加した合金をターゲットとしYAGレーザを照射する実験方法を示した。実験結果として試料のNd含有量の低下に伴い残留磁化は期待したほど上昇せず等方性NdFeB磁性相の理論値の残留磁化を超えることが困難であった。Zr,Nbの添加により結晶粒の微細化が促進される効果もみられたが依然として巨大な結晶粒が存在することを示した。マイクロロータへの応用に必要な厚膜化や打ち抜き加工に耐える機械的特性を有することを確認した。

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,  *マイクロモータ ,  *回転子 ,  ネオジム含有合金 ,  ホウ素含有合金 ,  鉄合金 ,  *永久磁石 ,  *厚膜 ,  *等方性 ,  *磁性薄膜 ,  依存性 ,  微細構造 ,  *薄膜成長 ,  パルスレーザ蒸着 ,  厚膜磁石 ,  組成依存性 ,  ネオジム-鉄-ホウ素合金
準シソーラス用語： PLD【蒸着】 ,  NdFeB

分類 (2件)： 電磁石  (NA05080G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (20件)：

• (1) S. Yamashita, J. Yamasaki, M. Ikeda, and N. Iwabuchi : “Anisotropic Nd-Fe-B thin-film magnets for milli-size motor”, J. Appl. Phys., Vol. 70, pp. 6627-6629 (1991)
• (2) O. Cugat : “Rare Earth Permanent Magnet Applications in MAGMAS”, Proc. of The 17th International Workshop on Rare Earth Magnets and Their Applications, pp. 478-489 (2002)
• (3) K. Makita, O. Yamashita, and A. Nakanishi : “Magnetic properties of thin compacted and sintered Nd-Fe-B type magnets”, J. Mag. Soc. Jpn., Vol. 22, pp. 365-368 (1998) (in Japanese)
• 槇田 顕・山下 治・中西昭男:「薄肉成形したNd-Fe-B系焼結磁石の磁気特性」,応用磁気学誌,Vol. 22, pp. 365-368 (1998)
• (4) H. Nakamura, K. Hirota, M. Shimao, T. Minowa, and M. Honshima : “Magnetic Properties of Extremely Small Nd-Fe-B Sintered Magnets”, IEEE Trans. Magn., Vol. 41, No. 10, pp. 3844-3846 (2005)

タイトルに関連する用語 (5件)： PLD法 ,  ロータ ,  等方性 ,  厚膜磁石 ,  作製