文献

J-GLOBAL ID：201302231654170807   整理番号：13A1165650

レーザ誘起マイクロパウダージェットインプランテーションにより熱可塑性プラスチックレジン基板内に作製した積層キャパシタ

Laminated Capacitor Formed in Thermoplastic Resin Substrate by Laser-Assisted Micropowder Jet Implantation

著者 (6件)： SUZUKI Katsuhiko (Sendai National Coll. Technol., Miyagi, JPN) ,  KAMEYA Shotaroh (Sendai National Coll. Technol., Miyagi, JPN) ,  SUGAI Tohru (Sendai National Coll. Technol., Miyagi, JPN) ,  OHUCHI Takumi (Sendai National Coll. Technol., Miyagi, JPN) ,  MIURA Kaichi (Miura Sensor Res. Corp., Sendai, JPN) ,  KURIYAGAWA Tsunemoto (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 6,Issue 2  ページ： 06GL02.1-06GL02.4  発行年： 2013年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ誘起マイクロパウダージェットインプランテーション法により熱可塑性プラスチックレジンとポリ(オキシメチレン)基板内に積層キャパシタを作製した。カーボンパウダーとBaTiO₃パウダーをArガスを使って,それぞれNd:YAGレーザを基板に照射しながら,電極と誘電体にジェットで吹き付けた。この方法によって形成される容量は電極面積と積層数に比例した。実験的に推定した誘電率は5.2×10³という大きな値を示した。これは,おそらくジェットプロセスを通じて約150nmの粒子サイズに砕かれたBaTiO₃粒子によって増強された結果と思われる。容量は,誘電層を形成するときに出入りする粉末ジェット化の回数に指数関数的に依存することを見いだした。このことは,誘電積層数にしたがう厚みの増加と誘電率の減少による影響を受けたことによると思われる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *噴流 ,  *積層形コンデンサ ,  熱可塑性プラスチック ,  *粉体塗装 ,  チタン酸バリウム
準シソーラス用語： *ジェット【噴流】 ,  積層キャパシタ ,  パウダ塗布

分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (30件)：

• 1) J. Akedo: Ceramics Japan 46 (2011) 529 [in Japanese].
• 2) J. Akedo and M. Lebedev: Materia Japan 41 (2002) 459 [in Japanese].
• 3) J. Akedo: Kinzoku (AGNE Gijutsu Center) 75 [3] (2005) 16 [in Japanese].
• 4) J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys. 38 (1999) 5397.
• 5) J. Akedo: J. Am. Ceram. Soc. 89 (2006) 1834.

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ誘起 ,  熱可塑性プラスチック ,  レジン ,  作製 ,  積層キャパシタ