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J-GLOBAL ID：200902166286614113   整理番号：99A0999515

アエロゾル堆積法によるジルコニウムチタン酸鉛(Pb(Zr_0.52Ti_o.48)O₃)厚膜の微構造と電気特性

Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr₅₂/Ti₄₈)O₃) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method.

著者 (2件)： AKEDO J (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  LEBEDEV M (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38  号： 9B  ページ： 5397-5401  発行年： 1999年09月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si基板上に厚み10μm以上でMPB近傍のPZTを成膜し,T...

シソーラス用語： *強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (2件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (16件)：

• 1) J. Akedo: Oyo Buturi 68 (1999) 44 [in Japanese].
• 2) S. Kasyu, E. Fuchita, T. Manabe and C. Hayashi: Jpn. J. Appl. Phys. 23 (1984) L910.
• 3) J. Akedo, M. Ichiki and R. Maeda: Proc. Int. Conf. ECAPD `98, Montreux, Switzerland, Aug. 24-27, 1998, Ferroelectrics 224 (1999) 759.
• 4) A. Schroth, R. Maeda, J. Akedo and M. Ichiki: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 5342.
• 5) J. Akedo, N. Minami, K. Fukuda, M. Ichiki and R, Maeda: Proc. Int. Conf. AFM-2, Singapore, Dec. 7-11 (1998), to be published in Ferroelectrics.

タイトルに関連する用語 (8件)： アエロゾル ,  堆積 ,  ジルコニウム ,  チタン酸鉛 ,  Pb ,  O3 ,  厚膜 ,  電気特性