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J-GLOBAL ID：201302231923964521   整理番号：13A1692230

斜め蒸着法を用いたナノ構造制御による薄膜外部構造形成

著者 (3件)： 筒井朋洋 (大阪大 大学院) ,  平方寛之 (大阪大 工) ,  箕島弘二 (大阪大 工)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 88th  ページ： 3.4  発行年： 2013年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 基板上に製膜した薄膜を自立させると内部応力によって変形し,自発的に外部構造を形成する。本研究では,動的斜め蒸着法を用いてナノ要素の構造を制御した集合薄膜の外部構造を自在に制御することを目的とした。ここでは,曲げ変形の方向に着目し,蒸着角60°の斜め蒸着により,ナノ構造に異方性を持つTi要素集合薄膜を作製した。自立させた集合薄膜は,常に蒸着流を傾斜させた方向に曲げ変形が生じ,円筒状の外部構造を形成した。(著者抄録)

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  製膜 ,  構造 ,  ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  制御 ,  *真空蒸着 ,  傾斜角 ,  曲げ変形 ,  チタン ,  *ナノシート
準シソーラス用語： Si基板 ,  *外部構造 ,  *ナノ構造体薄膜 ,  構造制御 ,  *斜め蒸着 ,  集合薄膜

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 斜め蒸着 ,  ナノ構造制御 ,  薄膜 ,  構造形成