抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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2次元画像から高速かつ容易に欠陥検査が可能な磁気光学(MO)イメージングを利用した非破壊検査法に対する基礎的考察を行った。特に,本手法における問題点の1つである欠陥の深さ方向の推定に関して検討した。その対策として,磁界をMOイメージから取得するため,局在波長の異なる磁性層を複数挿入した磁性フォトニック結晶(MPC)を考案し,波長を選択することにより,磁性膜を移動させずに磁界分布を取得する方法を開発し,空間的な磁界分布から欠陥深さを推定する方法を提案した。開口幅20μmほどの欠陥2本を持つ炭素鋼を被検体として,多結晶ガーネットの単層膜とMPCを用いて,MOイメージングを行った結果,MPCを用いると,単層膜より高いコントラストで2本の欠陥が可視化できることが判明した。また,欠陥深さと漏れ磁界強度の関係を有限要素法を用いてシミュレートした結果についても報告した。