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J-GLOBAL ID：201302234214131027   整理番号：13A0486601

プラズマ促進原子層堆積(PEALD)により堆積したAg薄膜の新規な光学的性質

Novel Optical Properties of Ag films deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD).

著者 (4件)： PROKES S. M. (US Naval Res. Lab., Washington, D.C.) ,  GLEMBOCKI O. J. (US Naval Res. Lab., Washington, D.C.) ,  CLEVELAND E. (US Naval Res. Lab., Washington, D.C.) ,  CLEVELAND E. (NRL)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8467  ページ： 84670F.1-84670F.12  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ag微粒子は最高の表面増強ラマン散乱(SERS)を示す物質であるので,この物質の新規な性質を調べるためにプラズマ促進原子層堆積(PEALD)により堆積したAg薄膜についての研究を行った。AgのPEALDはガラス,Si,Au,Ag,Pt,Ga₂O₃ナノワイヤ,紙および織物などの表面に対して行った。X線回折により堆積したAg膜は面心立方構造をしており,他の相は全く含まれていないことを確認した。この膜は試験した基板材料に関係なく2次元の島状の結晶から成るモザイク様のモルフォロジーを有する。また,この堆積膜は予期しないプラズモニック特性を有し,非常に強いSERS応答を示した。論文ではこの堆積膜の特異なプラズモニック応答について詳しく議論した。

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *表面増強Raman散乱 ,  *銀 ,  *モザイク構造 ,  表面プラズモン ,  プラズマ共鳴 ,  特性
準シソーラス用語： *プラズマ促進化学蒸着 ,  非線形光学特性 ,  表面プラズモン共鳴

分類 (2件)： 固体プラズマ  (BM02160W) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  促進 ,  原子層堆積 ,  堆積 ,  Ag ,  薄膜 ,  光学的性質