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J-GLOBAL ID：201302236080124692   整理番号：13A0896428

アノード側へのパルスプラズマスラスタによるフルオロカーボン膜の蒸着

Deposition of fluorocarbon films by Pulsed Plasma Thruster on the anode side

著者 (5件)： ZHANG Rui (Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN) ,  ZHANG Daixian (Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN) ,  ZHANG Fan (Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN) ,  HE Zhen (Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN) ,  WU Jianjun (Coll. of Aerospace Sci. and Engineering, National Univ. of Defense Technol., Deya Road, Changsha, Hunan 410073, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 270  ページ： 352-358  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の角度でのパルスプラズマスラスタにより,スラスタのアノード側にフッ化炭素膜を蒸着した。パルスプラズマスラスタのプルーム中のプラズマ密度と速度は,それぞれダブルおよびトリプルLangmuir探針装置を用いて決定した。蒸着膜は,X線光電子分光法,走査プローブ顕微鏡,紫外可視分光計により評価した。低F/C比(0.64~0.86)のフッ化炭素膜が蒸着された。F/C比は角度が0から30°に増加すると減少した。しかし,角度が45から90°になると増加に転じた。中心角で蒸着した膜は,45°を越えた角度で作製したものより粗かった。この膜は基本的に,600nm以下の波長に対して強い吸収特性を示し,また高い反射特性を有した。膜の化学組成と表面形態の影響により,この膜の光学特性は顕著な角度依存性を示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *脂肪族フッ素化合物 ,  *プラズマエンジン ,  *アノード ,  プルーム ,  プラズマ密度 ,  Langmuir探針 ,  X線光電子スペクトル ,  紫外可視吸収スペクトル ,  反射スペクトル ,  角度依存性 ,  表面粗さ ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  有機材料 ,  *光学定数
準シソーラス用語： *パルスプラズマスラスタ ,  *プラズマプルーム ,  有機薄膜

分類 (3件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  ロケットエンジン  (PB02050J)

タイトルに関連する用語 (4件)： アノード ,  パルスプラズマスラスタ ,  フルオロカーボン ,  蒸着