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J-GLOBAL ID：201302236181452038   整理番号：13A1071824

レーザを使ったセンシング 光断層計測

著者 (1件)： 高橋義行 (山形県工技セ)
資料名： レーザ協会誌  (LASER)
巻： 37  号： 3  ページ： 1-11  発行年： 2012年12月30日 
JST資料番号： L4200A  ISSN： 0916-7277  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光干渉断層計(OCT)は,レーザの持つコヒーレンスと自然光の持つインコヒーレンスを利用した断層画像計測手法である。本報告では,この計測法の具体例として,三つの手法を説明した。TD-OCTによる高精度板厚計測,SD-OCTによるオンマシンSiウエハ厚計測,FF-OCTによる高分解能面観察であった。これらの概要,特徴,課題などを説明した。本技術は,製品の加工精度や加工効率を改善し,優れた製品開発に貢献する。

シソーラス用語： *光干渉断層計 ,  コヒーレンス ,  光学的測定 ,  非接触測定 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  工作精度 ,  高分解能 ,  画像処理 ,  断層画像 ,  製品開発 ,  レーザ ,  *レーザ応用 ,  インコヒーレント光 ,  板厚
準シソーラス用語： Siウエハ ,  加工効率 ,  加工精度 ,  光センシング

分類 (2件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (17件)：

• [1]丹野直弘,市川勉,佐伯宗博:光波反射像測定装置(日本特許第2010042号,出願 1990).
• [2] D. Huang, E. A. Swanson, C. P. Lin, J. S. Schuman, W. G. Strinson, W. Shang, M. R. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. A. Pauliafito, and J. G. Fujimoto: Optical coherence tomography, Science 254, 1178 (1991).
• [3] A. G. Poodoleanu, M. Seeger, G. M. Dobre, D. J. Webb, D. A. Jackson, and F. W. Fitzke: Transversal and longitudinal images from the retina of the living eye using low coherence refractivity, Journal of Biomedical Optics 3, 12 (1998).
• [4] Y. Watanabe, F. Sajima, T. Itagaki, K. Watanabe, and Y. Shuto: High speed linear detection time domain optical coherence tomography with reflective grating generated spatial reference delay, Applied Optics 48, 3401 (2009).
• [5] K. Obayashi, D. Choi, H. Hiro-oka, T. Ohno, R. Ikeda, and K. Shimizu: Ultra-high Speed Real-time 4D display system installed in ultra-high speed parallel OCT system at a volume rate of 12 volumes/sec, SPIE Processing 7889, 78891Z (2011).

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  センシング ,  断層 ,  計測