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J-GLOBAL ID：201302237770860592   整理番号：13A0345751

加熱原子間力カンチレバー閉ループ温度制御と高速ナノ・トポグラフィー画像化への応用

Heated atomic force cantilever closed loop temperature control and application to high speed nanotopography imaging

著者 (2件)： SOMNATH Suhas (Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL 61801, USA) ,  KING William P. (Dep. of Mechanical Sci. and Engineering, Univ. of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL 61801, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 192  ページ： 27-33  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,加熱原子間力顕微鏡カンチレバーの閉ループ温度制御とその熱トポグラフィー画像化への応用について報告する。アナログ回路網にインプリメントされた閉ループフィードバックは,カンチレバーの温度を,1MHzの帯域幅において,1.73°Cの精度と0.076°Cの確度で維持する。このカンチレバーは,16.5μs以内に温度セットポイント内の変化に応答することができるため,500μm/sでの熱トポグラフィー画像化が可能になる。これは,先行研究を50倍上回る。著者らは,表面を画像化するために伝統的な光学的チップ高さ検出において,カンチレバー温度信号がどのように利用できるかを示す。この温度制御アーキテクチャは,帯域幅の損失なしに加熱カンチレバーの大規模アレイにスケーリングすることができる。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *画像処理システム ,  *トポグラフィー【形態】 ,  原子間力顕微鏡 ,  片持梁 ,  フィードバック制御 ,  温度制御 ,  *顕微鏡観察
準シソーラス用語： *画像化システム ,  閉ループ制御 ,  *原子間力顕微鏡法

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 原子間力 ,  カンチレバー ,  温度制御 ,  トポグラフィー ,  画像化 ,  応用