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J-GLOBAL ID：201302242116061080   整理番号：13A0829256

スティクション回復アクチュエーションを使用した超低電圧MEMSスイッチ

An ultra-low voltage MEMS switch using stiction-recovery actuation

著者 (4件)： KIM Min-Wu (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  SONG Yong-Ha (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  YANG Hyun-Ho (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR) ,  YOON Jun-Bo (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 4  ページ： 045022,1-7  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSスイッチは高絶縁性,低消費電力や急速スイッチング性など多くの利点があるが,一般にアクチュエーションのために数十ボルト高電圧が必要という問題がある。本稿では,ねじりヒンジ構造を使ったスティクション回復アクチュエーションによる超低電圧MEMSスイッチついて報告した。回復電極をバイアスしてスティクション回復アクチュエーションを行い,基板に張り付いた懸架ビームが能動的に剥がれ再動作可能になる。このシーソー様アクチュエーションにより約3Vのアクチュエーション電圧を得た。10⁵サイクル中,アクチュエーション電圧の変化は12%以下であった。この提案したスイッチを使った低電圧機械的論理ゲートを提案し,V_DD 3Vで動作することを示した。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  マイクロマシン ,  消費電力 ,  電気絶縁 ,  スイッチング ,  ねじり変形 ,  論理回路 ,  論理素子 ,  ビーム ,  動作 ,  *付着
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  *スティクション ,  作動 ,  絶縁性 ,  低消費電力 ,  論理ゲート

分類 (2件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： スティクション ,  回復 ,  低電圧 ,  MEMSスイッチ