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J-GLOBAL ID：201302246277772586   整理番号：13A1095615

ブラックシリコンベースハイブリッドテンプレート上マイクロチップの周囲空気における表面張力駆動自己整合

Surface-Tension-Driven Self-Alignment of Microchips on Black-Silicon-Based Hybrid Template in Ambient Air

著者 (5件)： SHAH Ali (Aalto Univ., Aalto, FIN) ,  CHANG Bo (Aalto Univ., Aalto, FIN) ,  SUIHKONEN Sami (Aalto Univ., Aalto, FIN) ,  ZHOU Quan (Aalto Univ., Aalto, FIN) ,  LIPSANEN Harri (Aalto Univ., Aalto, FIN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 3  ページ： 739-746  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロチップの,ハイブリッドブラックシリコンテンプレートへの水とUVキュア接着剤を使った表面張力駆動自己整合を記した。フルオロポリマで被覆したナノ構造ブラックシリコンを基板として使い,フルオロポリマで被覆した二酸化ケイ素パターンをレセプターサイトとして使った。レセプターサイトと基板間のエッジで表面張力自己整合に必要な水と接着剤の液滴の閉じ込めている。水で自己整合は信頼性が高く,基板のディウエッティング特性はフィーディング後にマイクロチップを取り去ったり動かしたりするのを可能にしている。接着剤では,自己整合の信頼性と共にUVキュアでマイクロチップの永久固定が可能である。

シソーラス用語： フッ素化重合体 ,  *自己整合 ,  組立 ,  濡れ ,  *界面張力 ,  液滴 ,  チップ ,  接着剤 ,  接触角
準シソーラス用語： フルオロポリマ ,  *マイクロチップ ,  *自己組立 ,  濡れ性 ,  表面張力

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロチップ ,  周囲空気 ,  表面張力 ,  自己整合