WANG Jiachou について
Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN について
LI Xinxin について
Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. of Sci., Shanghai, CHN について
Journal of Micromechanics and Microengineering について
電気抵抗 について
圧抵抗効果 について
圧力センサ について
ウエハ【IC】 について
ケイ素 について
マイクロマシニング について
片持梁 について
小型化 について
超小形回路技術 について
検出限界 について
温度係数 について
オンチップ について
カンチレバー について
シリコンウエハ について
圧電抵抗 について
最小検出感度 について
力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 について
固体デバイス製造技術一般 について
オンチップ について
集積 について
パッケージング について
ストレス について
懸架 について
パッケージ について
圧電抵抗 について
圧力センサ について