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J-GLOBAL ID：201302247175363211   整理番号：13A0751646

水分吸着に関するシリコン表面帯電研究のための横音響電気効果の応用

Application of the transverse acoustoelectric effect to studying silicon surface charging upon water adsorption

著者 (3件)： GROMASHEVSKII V. L. (National Acad. of Sciences, Lashkaryov Inst. of Semiconductor Physics, pr. Nauki 41, 03028, Kyiv, UKR) ,  TATYANENKO N. P. (National Acad. of Sciences, Lashkaryov Inst. of Semiconductor Physics, pr. Nauki 41, 03028, Kyiv, UKR) ,  SNOPOK B. A. (National Acad. of Sciences, Lashkaryov Inst. of Semiconductor Physics, pr. Nauki 41, 03028, Kyiv, UKR)
資料名： Semiconductors  (Semiconductors)
巻： 47  号： 4  ページ： 579-585  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： T0093A  ISSN： 1063-7826  CODEN： SMICES  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エアギャップのある層状化Si-LiNbO₃構造のシリコン表面上の水分吸着を表面音響波に及ぼす横音響電気効果を使用して研究する。横音響電気効果測定の一般化解析はSi表面の初期バンド曲りとガスサイクルの間のその変化,それゆえH₂O吸着に関する兆候および帯電動力学を決定する。半導体表面欠陥の特性に依存して,H₂OとSiの相互作用によるドナーとアクセプターの性質を観察する。例えば熱酸化膜に関して,ドナー型の相互作用が起きる。例えば自然酸化膜を持つ試料では両タイプの相互作用が起きる。吸着質にさらした酸化物の帯電に使用する物理モデルに基づいて,総合的な方法を提案する。それはセンサー応用のために目標とする音響電気構造の開発を可能にする。Copyright 2013 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *音響電気効果 ,  *ケイ素 ,  *表面 ,  *帯電 ,  *吸着 ,  間隙 ,  層状化合物 ,  ニオブ酸リチウム ,  弾性表面波 ,  バンド構造 ,  動力学 ,  相互作用 ,  ドナー ,  アクセプタ ,  熱酸化 ,  酸化物 ,  モデル ,  センサ
準シソーラス用語： エアギャップ ,  バンド曲がり ,  固体表面 ,  自然酸化物 ,  *水分吸着 ,  物理モデル

分類 (3件)： 固体の音波物性一般  (BL02031U) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水分吸着 ,  シリコン ,  表面帯電 ,  研究 ,  音響電気効果 ,  応用