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J-GLOBAL ID：201302252637943760   整理番号：13A1271898

ホモエピタキシャルδドープダイヤモンド層における高角度円環暗視野透過型走査電子顕微鏡によるホウ素濃度プロファイリング

Boron concentration profiling by high angle annular dark field-scanning transmission electron microscopy in homoepitaxial δ-doped diamond layers

著者 (6件)： ARAUJO D. (Dpto Ciencia de los Materiales, Facultad de Ciencias, Universidad de Cadiz, 11510 Puerto Real (Cadiz), ESP) ,  ALEGRE M. P. (Dpto Ciencia de los Materiales, Facultad de Ciencias, Universidad de Cadiz, 11510 Puerto Real (Cadiz), ESP) ,  PINERO J. C. (Dpto Ciencia de los Materiales, Facultad de Ciencias, Universidad de Cadiz, 11510 Puerto Real (Cadiz), ESP) ,  FIORI A. (Inst. Neel, CNRS-Universite Joseph Fourier, 25 av. des Martyrs, 38042 Grenoble, FRA) ,  BUSTARRET E. (Inst. Neel, CNRS-Universite Joseph Fourier, 25 av. des Martyrs, 38042 Grenoble, FRA) ,  JOMARD F. (Groupe d’Etude de la Matiere Condensee (GEMaC), UMR 8635 du CNRS, UVSQ, 45 av. des Etats-Unis, 78035 Versailles ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 103  号： 4  ページ： 042104-042104-4  発行年： 2013年07月22日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *δドーピング ,  *ホウ素 ,  *ホモエピタクシー ,  空間分布 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  視野 ,  濃度分布 ,  多層 ,  空間分解能 ,  二次イオン質量分析
準シソーラス用語： HAADF-STEM ,  暗視野

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： ホモ ,  エピタキシャル ,  δドープ ,  ダイヤモンド層 ,  円環 ,  暗視野 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  ホウ素 ,  プロファイリング