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J-GLOBAL ID：201302252751308810   整理番号：13A1664266

革新的製造技術の新展開 スマートウィンドウ用電極材料のスパッタ成膜技術

著者 (4件)： 阿部良夫 (北見工大 工) ,  川村みどり (北見工大 工) ,  KIM Kyung Ho (北見工大 工) ,  LEE Kyoung Moo (北見工大 工)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 58  号： 11  ページ： 811-817  発行年： 2013年11月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エレクトロクロミック電極材料のひとつが水酸化物であるが,従来の薄膜作製プロセス技術では大面積に均一な水酸化物薄膜を形成することは困難であった。そこで,代表的なドライプロセスであるスパッタ法に反応ガスとして水蒸気を導入することにより,エレクトロクロミック特性の優れた水酸化物薄膜を作製する技術を開発した。本稿では,このスパッタ成膜技術とこれを用いて作製したコバルト,およびニッケル水酸化物薄膜の特性について解説した。エレクトロクロミック・スマートウインドウ,スマートウインドウ,エレクトロクロミック・スマートウインドウの電極材料,スマートウインドウ電極の作製技術,水酸化物薄膜のスパッタ成膜技術,水酸化物薄膜の構造とエレクトロクロミック特性などについて解説した。

シソーラス用語： 焼成 ,  生産技術 ,  展開 ,  ガラス ,  *電極材料 ,  構成 ,  薄膜成長 ,  *スパッタリング ,  光学材料 ,  水酸化物 ,  製造 ,  生産工程 ,  技術開発 ,  コバルト化合物 ,  ニッケル化合物 ,  電極 ,  膜構造 ,  エレクトロクロミック材料 ,  水酸化コバルト ,  水酸化ニッケル ,  薄膜作製 ,  *スマートガラス ,  *薄膜形成
準シソーラス用語： *スマートウインドウズ ,  作製技術 ,  *成膜 ,  製造プロセス ,  製造技術

分類 (3件)： 電解装置  (XE02030E) ,  スパッタリング  (BK16110U) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 展開 ,  ウィンドウ ,  電極材料 ,  スパッタ成膜