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J-GLOBAL ID：201302253163217937   整理番号：13A0312761

DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状~大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化~

著者 (6件)： 鈴木哲也 (慶応大) ,  登坂万結 (慶応大) ,  平子智章 (慶応大) ,  白倉昌 (慶応大) ,  渡邊敏行 (神奈川県産業技術セ) ,  関雅樹 (JR東海)
資料名： New Diamond  (New Diamond)
巻： 29  号： 1  ページ： 35-39  発行年： 2013年01月25日 
JST資料番号： X0341A  ISSN： 1340-4792  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： プラズマCVD被覆 ,...

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分類 (4件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  ポリエステル,アルキド  (YH07070P) ,  物理的性質一般  (YH02021U) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (7件)： DLC薄膜 ,  ガスバリヤ ,  実用化 ,  現状 ,  大気圧プラズマ ,  薄膜 ,  大面積