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J-GLOBAL ID：201302253411804275   整理番号：13A1293412

ロール・ツー・ロール(走査)処理用の導波路スロット励起型長レーストラック電子サイクロトロン共鳴プラズマ源

Waveguide slot-excited long racetrack electron cyclotron resonance plasma source for roll-to-roll (scanning) processing

著者 (1件)： YOU H.-j. (National Fusion Res. Inst., Daejeon, KOR)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 84  号： 7  ページ： 073513-073513-7  発行年： 2013年07月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大面積OLED(有機発光ダイオード)パネルや織物表面の薄膜カプセル封止などのロール・ツー・ロールプラズマ処理に利用するスロット励起アンテナ(SLAN)長レーストラックECRプラズマ源を示した。このプラズマ源は長く,サブmTorr圧力の高密度均一プラズマ下で動作するように設計した。上記特徴はトロイダル構造の磁場ECR構成を持つスロット励起型長レーストラック共振器とプラズマ容器の中心領域に沿った強化マイクロ波電気分布により達成した。これはテイルプランジャを用いるためで,マイクロ波電場とプラズマ分布の均一性を容易に調節できる。圧力0.2~10mTorr,マイクロ波パワー0.5~3kWで動作するArプラズマの発生に成功した。プラズマは直線トラック方向に均一で(<10%),ロール・ツー・ロール(走査)方向に正規分布した。また,テイルプランジャはプラズマ均一性を得るためにプラズマ分布を調節できることを示した。さらに,結果に基づいて,新たに設計したアップスケールのレーストラックSLAN源を提唱した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ECRプラズマ ,  生産方式 ,  スロットアンテナ ,  *プラズマ源 ,  共振器 ,  導波路
準シソーラス用語： ロール・ツー・ロール方式 ,  高密度プラズマ ,  電子サイクロトロン共鳴プラズマ

分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (8件)： ロール・ツー・ロール ,  走査 ,  導波路 ,  スロット ,  励起 ,  レース ,  トラック ,  電子サイクロトロン共鳴プラズマ