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J-GLOBAL ID：201302253594849817   整理番号：13A1698186

集積スライディングモード摩擦推定子を備えた精密ステージの追従制御器

Tracking control of a precision stage with integral sliding-mode friction estimator

著者 (2件)： SHEN Jing-Chung (National Formosa Univ., Dep. of Automation Engineering, 632, Yunlin County, Taiwan) ,  YAN Chau-Chia (National Formosa Univ., Dep. of Automation Engineering, 632, Yunlin County, Taiwan)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 19  号： 11  ページ： 1731-1736  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,精密位置決めステージのための摩擦推定子を備えた集積スライディングモード追従制御器の開発について述べる。このステージは,クロスローラーガイドによって支持され,従って,動的動作中の主たる外乱の一つは,摩擦力である。摩擦の不安定性と影響を克服するために,不安定性と外乱評価スキームを備えた集積スライディングモード制御器を設計しステージの動きを制御するようにする。実験結果から,通常のPID制御器と比較して,この制御器の追従誤差が非常に減少することが分かる。Copyright 2013 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *追従制御 ,  *スライディングモード制御 ,  *摩擦 ,  位置決め装置 ,  テーブル【機械要素】 ,  ころ軸受 ,  擾乱
準シソーラス用語： クロスローラ軸受 ,  外乱

分類 (2件)： その他の機械要素  (QB01120F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 集積 ,  スライディングモード ,  摩擦 ,  推定子 ,  精密 ,  ステージ ,  制御器