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J-GLOBAL ID：201302255473960888   整理番号：13A0652097

マイクロ多分岐切換バルブチップのアクチュエータ内蔵モデルの検討

著者 (4件)： 木田真澄 (芝浦工大) ,  花倉洋一 (芝浦工大) ,  長谷川忠大 (芝浦工大) ,  生田幸士 (東大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 209-210  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,Micro Total Analysis Systems(μ-TAS)の研究開発が盛んに行われている。しかし,現状では反応・分析部は小型化されているが,マイクロ流体を効率的に分注・供給可能な装置の小型化は遅れている。そこで,高耐圧下でマイクロ流体を効率的に分注・供給できる1入力多出力に切換え可能なマイクロバルブを開発してきた。これはロータリ機構を有し,ソレノイド外部設置型で10出力の切換えと耐圧500kPaを実現してきた。しかし,アクチュエータが外部設置となっていたため,実用化のステップとして,2種類の内蔵モデルを検討・開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： 分析機器 ,  小型化 ,  反応場 ,  微細構造 ,  *弁 ,  回転子 ,  *アクチュエータ ,  枝分れ ,  方向制御弁 ,  ソレノイド形コイル ,  電磁力 ,  *半導体チップ

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 切換バルブ ,  アクチュエータ ,  モデル