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J-GLOBAL ID：201302255693253228   整理番号：13A1418141

真空,アルゴン,窒素および酸素中の複合陰極からの陰極アークプラズマ中のAlとCrのイオン電荷状態分布

Ion Charge State Distributions of Al and Cr in Cathodic Arc Plasmas from Composite Cathodes in Vacuum, Argon, Nitrogen, and Oxygen

著者 (3件)： FRANZ Robert (Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA) ,  POLCIK Peter (PLANSEE Composite Materials GmbH, Lechbruck am See, DEU) ,  ANDERS Andre (Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 41  号： 8,Pt.2  ページ： 1929-1937  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *アーク放電 ,  *電極材料 ,  イオン ,  イオン化 ,  *気体 ,  複合材料 ,  組成 ,  *イオン組成 ,  プラズマ
準シソーラス用語： アークスポット ,  アークプラズマ ,  *プロセスガス ,  *陰極アーク ,  電荷状態分布 ,  電極材料組成 ,  電離状態

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (11件)： 真空 ,  アルゴン ,  窒素 ,  酸素 ,  陰極 ,  アークプラズマ ,  Al ,  Cr ,  イオン ,  電荷 ,  状態分布