文献

J-GLOBAL ID：201302255896372117   整理番号：13A1400266

プラズマエッチングによるダイヤモンド基板表面処理のホモエピタキシャル成長に対する影響

著者 (10件)： 今野雄太 (北大 大学院) ,  金子純一 (北大 大学院) ,  藤田文行 (北大 大学院) ,  渡邊幸志 (産業技術総合研) ,  原賢二 (北大 大学院) ,  佐藤圭 (北大 大学院) ,  垣本明徳 (北大 大学院) ,  鹿田真一 (産業技術総合研) ,  本間彰 (北大 大学院) ,  古坂道弘 (北大 大学院)
資料名： 日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集  (日本原子力学会北海道支部研究発表会要旨集)
巻： 27th  ページ： 18-19  発行年： 2009年 
JST資料番号： L6180A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *表面処理 ,  *エピタクシー ,  *プラズマエッチング ,  *ダイヤモンド ,  *イオンエッチング ,  電荷結合素子 ,  プラズマCVD ,  プラズマ ,  *核融合 ,  DT核融合 ,  核融合プラズマ ,  核融合炉計装 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： CCD【素子】 ,  *エピタキシャル成長 ,  核融合炉計測

分類 (1件)： 核融合装置  (BJ02083Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマエッチング ,  ダイヤモンド基板 ,  表面処理 ,  ホモ ,  エピタキシャル成長