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J-GLOBAL ID:201302257168134539   整理番号:13A0479889

金属/誘電体多層膜(MIM構造)による機能性・光フィルタ=SPRを利用した白色LED通信用アクティブフィルタの特性と制御=

著者 (2件):
資料名:
巻: 24  号:ページ: 46-51  発行年: 2013年03月01日 
JST資料番号: L1746A  ISSN: 0917-026X  CODEN: HARAEW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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金や銀の薄膜をガラスなどの表面に設置し,更に誘電体薄膜を設置したMI型構造に,更に金属層を追加したMIM構造は,急峻なバンドカットフィルタ特性を示す。このフィルタ特性をアクティブに制御できるようMIM構造を最適化することにより,高速可変光通信が実現できる。その役割を担うMIMフィルタの試作品を紹介した。MIM構造を試作した実験装置(真空蒸着装置)と実験方法を示した。2D-FEM分光反射率計算に用いたMIM構造モデルと,製作過程における角度および偏光に依存して変化する分光反射スペクトルや電磁場分布の結果を示した。偏光に依存した入射角5°でのMIM構造の分光反射特性の測定結果/SEM観察像と考察を示した。
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分類 (1件):
分類
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光デバイス一般 

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