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J-GLOBAL ID：201302257239825937   整理番号：13A0980610

酸化物単結晶基板上のPt薄膜成長に及ぼすステップ端の影響

Effect of step edges on the growth of Pt thin films on oxide single-crystal substrates

著者 (6件)： SHIOTA Tadashi (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of ...) ,  ITO Hiroki (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of ...) ,  WAKIYA Naoki (Dep. of Materials Sci. and Chemical Engineering, Shizuoka Univ.) ,  CROSS Jeffrey (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of ...) ,  SAKURAI Osamu (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of ...) ,  SHINOZAKI Kazuo (Dep. of Metallurgy and Ceramics Sci., Graduate School of Sci. and Engineering, Tokyo Inst. of ...)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 121  号： 1411  ページ： 278-282 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 1882-0743  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化物単結晶基板上のPt薄膜成長に及ぼすステップ端の影響を調べるため,パルスレーザ堆積によりSrTiO₃(100),ルチル型TiO₂(100),およびAl₂O₃(11-20)ステップ表面にPt膜を673Kおよび973Kで成長した。673KにおけるSrTiO₃では,ステップ端による膜成長への顕著な影響は見られなかった。しかし,973Kにおけるテラス上に比べ,ステップ端ではPt粒サイズが粗大であった。予測したPtの表面拡散長さは973Kにおける平均テラス幅より長く,673Kにおけるそれより短かった。同様な成長は973KにおけるTiO₂でも観察されたが,Al₂O₃の場合にはステップ端に起因する影響は不明であった。Pt拡散長さはTiO₂上のテラス幅より長く,Al₂O₃上より短いと予測された。ステップ端の影響はPt表面拡散を考慮して理解できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  *白金 ,  *基板 ,  単結晶 ,  チタン酸ストロンチウム ,  酸化チタン ,  ルチル型結晶 ,  アルミナ ,  *表面性状 ,  レーザ蒸着 ,  ステップ ,  表面テラス ,  粒径 ,  拡散距離 ,  温度依存性 ,  基板温度 ,  表面拡散 ,  顕微鏡観察 ,  粒度分布 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 二酸化チタン ,  パルスレーザ堆積 ,  原子間力顕微鏡法

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (19件)：

• 1) Q. Fu and T. Wanger, Surf. Sci. Rep., 62, 431–498 (2007).
• 2) Y. Ogata, N. Tuan, S. Takase and G. Mizutani, Surf. Interface Anal., 42, 1663–1666 (2010).
• 3) Y. Ogata, N. A. Tuan, Y. Miyauchi and G. Mizutani, J. Appl. Phys., 110, 044301 (2011).
• 4) L. H. Yang, J. Park and B. D. Yu, J. Korea. Phys. Soc., 56, 791–795 (2010).
• 5) B. Y. Xia, P. Yang, Y. Sun, Y. Wu, B. Mayers, B. Gates, Y. Yin, F. Kim and H. Yan, Adv. Mater., 15, 353–389 (2003).

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸化物 ,  単結晶基板 ,  Pt ,  薄膜成長