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J-GLOBAL ID：201302257320903845   整理番号：13A0739356

真空および非真空パッケージングの静電気駆動マイクロミラーの性能

Performance of an Electrostatic Actuated Micromirror in a Vacuum and Non-Vacuum Packaging

著者 (5件)： KHAN I. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  CHONG J. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  BEN MRAD R. (Univ. Toronto, Ontario, CAN) ,  HE S. (Ryerson Univ., Ontario, CAN) ,  SCHERTZER M.J. (Univ. Toronto, Ontario, CAN)
資料名： Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society  (Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society)
巻： 38th Vol.5  ページ： 3987-3990  発行年： 2012年 
JST資料番号： H0475B  ISSN： 1553-572X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空および非真空環境で密封されるマイクロミラーの実験結果を提示した。すなわち,真空および非真空環境におけるマイクロミラーの性能を比較するために,静電気アクチュエータの静的および動的性能を調べた。通常は,共振器,ジャイロスコープおよび圧力センサのようなMEMS素子の性能は真空でパッケージされるときに改善される。真空環境は空気中の水蒸気や湿度により誤差を減らし,正確な測定値を得ることができる。使用のマイクロミラーは四つの静電気反発力アクチュエータにより懸架された1.0mm直径のミラー板で構成される。

シソーラス用語： 真空シール ,  *反射鏡 ,  駆動 ,  実装 ,  *真空マイクロデバイス ,  動特性 ,  アクチュエータ
準シソーラス用語： パッケージング ,  *マイクロミラー ,  静電気駆動

分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空 ,  パッケージング ,  静電気 ,  マイクロミラー