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J-GLOBAL ID：201302257621598983   整理番号：13A0542094

超音波アプリケーション用のマイクロマシニング加工したシリコン音響遅延線

Micromachined silicon acoustic delay lines for ultrasound applications

著者 (4件)： CHANG Cheng-Chung (Texas A&M Univ., TX, USA) ,  CHO Young (Texas A&M Univ., TX, USA) ,  WANG Lihong (Washington Univ. in St. Louis, MO, USA) ,  ZOU Jun (Texas A&M Univ., TX, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 2  ページ： 025006,1-8  発行年： 2013年02月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波トランスデューサアレイは超音波イメージングや光音響イメージングに広く使われている。高いイメージング分解能と速度を達成するために,大きい高周波トランスデューサアレイと複雑なデータ取得(DAQ)電子素子が同時に必要になる。このため,イメージングシステムが高コストになる。本稿では,新しいマイクロマシニング加工したシリコン音響遅延線の製作について報告した。各種のシリコン音響遅延線について特性評価した。その結果から,超音波信号のマルチチャネルで制御された時間遅延をする平行と直列の音響遅延線を製作した。シングルエレメント超音波トランスデューサで時間遅延超音波信号を時系列で受信した。この特性はマルチ信号チャネルを集積するのに使用でき,複雑さを抑え,低コスト化が可能になる。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *遅延線 ,  音響 ,  *超音波変換器 ,  超音波画像 ,  分解能 ,  データ収集 ,  チャネル ,  遅れ ,  時系列 ,  原価低減
準シソーラス用語： データ取得 ,  マルチチャネル ,  *音響遅延線 ,  時間遅延 ,  超音波イメージング ,  *超音波トランスデューサ ,  低コスト化

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  音響信号処理  (BB03050C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超音波 ,  アプリケーション ,  マイクロマシニング加工 ,  シリコン ,  音響遅延線