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J-GLOBAL ID：201302259758290920   整理番号：13A1458410

MEMS応用に対する微細NiFe合金アレイの微細構造と磁気特性

Microstructure and magnetic properties of micro NiFe alloy arrays for MEMS application

著者 (4件)： LI Zhongliang (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  SUN Xuming (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  ZHENG Yang (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  ZHANG Haixia (Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 8  ページ： 085013,1-8  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,さまざまな幾何学的寸法と形状のNiFe合金アレイを設計,製作しそして評価した。この論文では,電着を,MEMS製造工程で完全に組み込める軟磁性材料の非常に効果的な製作法として導入した。種々のサイズや形状のNiFe合金アレイを製造し比較し,最適化した。磁気アレイの設計においては,寸法効果の影響が解析できるようにした。寸法を小さくすると,軟磁性特性は保磁力が76.6%も減少し,角型比は65.0%減少した。正方形及び長方形のアレイと比較し,円形アレイは,小さな保磁力,より高い透磁率と小さな角型比を示した。また,成分は,合金アレイの軟磁性特性に重要な影響を与える因子であることも判明した。一般的に,Feの原子の含有量が20%のとき,最も良い,低い保磁力を示すことなどが判明した。

シソーラス用語： MEMS ,  *アレイ ,  *微細構造 ,  *磁気的性質 ,  長さ ,  パラメータ ,  形態 ,  電着 ,  軟磁性材料 ,  保磁力 ,  透磁率 ,  *鉄合金
準シソーラス用語： 幾何学的パラメータ ,  形状 ,  *磁気特性 ,  寸法 ,  *鉄ニッケル合金

分類 (1件)： 磁気的性質  (WB02020J)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  応用 ,  微細 ,  アレイ ,  微細構造 ,  磁気特性