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J-GLOBAL ID：201302260351202773   整理番号：13A0794827

ALN/F_EG_AB 2層ナノプレート共振器に基づくMEMS共振磁場センサ

MEMS RESONANT MAGNETIC FIELD SENSOR BASED ON AN ALN/F_EG_AB BILAYER NANO-PLATE RESONATOR

著者 (4件)： HUI Y. (Northeastern Univ., Massachusetts, USA) ,  NAN T. X. (Northeastern Univ., Massachusetts, USA) ,  SUN N. X. (Northeastern Univ., Massachusetts, USA) ,  RINALDI M. (Northeastern Univ., Massachusetts, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.2  ページ： 721-724  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS技術への磁性材料の統合は,センシング技術における利点から関心が高い。本論文では,超小型,高電力効率および高分解能磁場センサ開発の足掛かりとして,高周波(215MHz)AlN/FeGaB 2層ナノプレート共振器(NPR)磁場センサを設計,作成および試験を行った。高磁歪および軟磁性のFeGaB薄膜を,AlN共振ナノプレートの共振体に初めて集積し,外部磁場に高感度なMEMS共振構造を得た。体積の縮小および高動作周波数にも拘らず,高い電磁性能を達成し,超小型および高分解能磁場センサを可能とした。このプロトタイプを,0~152Oeの異なった磁場範囲に対して特性化し,~1Hz/nTの周波数感度および10nTの実験的検出限界を得,極めて低レベルの磁場を検出する大きな可能性を示した。

シソーラス用語： ナノ構造 ,  共振器 ,  MEMS ,  *磁気センサ ,  窒化アルミニウム ,  検出 ,  磁性材料 ,  磁歪 ,  高分解能
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  センシング ,  ナノプレート ,  磁場センサ ,  超小型 ,  軟磁性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

タイトルに関連する用語 (7件)： AlN ,  2層 ,  ナノプレート ,  共振器 ,  MEMS ,  共振 ,  磁場センサ