文献

J-GLOBAL ID：201302260933440970   整理番号：13A1763515

透過EBSD法の評価と材料ミクロ組織観察への応用

Evaluation of Transmission-EBSD Method and Its Application to Observation of Microstructures of Metals

著者 (1件)： 鈴木清一 (株式会社TSLソリューションズ)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 77  号： 7  ページ： 268-275 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： EBSD法は,材料のミクロ組織観察装置としてはなくてはならない存在となっている。本研究では,透過EBSD(t-EBSD)パターンの特徴を調査しパターンの形成状況を考察するとともに,従来のEBSD(s-EBSD)法と同様に材料の超微細組織観察に使用できるか検討した。t-EBSD法はs-EBSD法の課題の1つであった空間分解能を大幅に改善できる可能性があり,30nm程度の析出物でも十分に観察可能である。また,t-EBSD法を用いればTEM観察を行った部分の結晶方位像を比較的容易に得ることができ,またEBSD法で使用されている多機能な解析ソフトの利用も可能となる。これまでのTEM観察法では成し得なかった観察やデータの解析が可能になる。

シソーラス用語： *金属組織 ,  *電子回折 ,  透過 ,  金属箔 ,  合金鋼 ,  マルテンサイト鋼 ,  結晶方位 ,  結晶構造 ,  微細構造 ,  空間分解能 ,  析出物 ,  電子顕微鏡観察 ,  *結晶構造解析 ,  試料採取 ,  厚み ,  傾斜角 ,  写像
準シソーラス用語： *ミクロ組織【金属組織】 ,  *EBSD法 ,  アルミニウム箔 ,  クロム鋼 ,  結晶方位関係 ,  超微細構造 ,  高空間分解能 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  回折パターン ,  厚み依存性 ,  マッピング法

分類 (1件)： 金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (10件)：

• ADAMUS, B. L. Metall. Trans. A. 1993, 24, 819-831
• SUZUKI, S. Microscopy. 2004, 39, 121-124
• SUZUKI, S. Microscopy. 2004, 39, 180-184
• SCHWARTS, A. J. Electron Backscatter Diffraction in Material Science. 2009, 251-337
• ZAEFFERER, S. Ultramicroscopy. 2007, 107, 254-266

タイトルに関連する用語 (6件)： 透過 ,  EBSD法 ,  評価 ,  ミクロ組織 ,  観察 ,  応用