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J-GLOBAL ID：201302261537973725   整理番号：13A1562431

MEMS部品の動的特性の試験法に関して

On the Test Method of Dynamic Characteristics of MEMS Components

著者 (3件)： HE Guang (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  WANG Yajun (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN) ,  MA Wenrui (Beijing Inst. Technol., Beijing, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 562/565 Pt.1  ページ： 119-124  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)とは,微小機械センサー,微小機械駆動装置等の総称のことである。MEMS部品の動的特性は,MEMSシステムの基本特性を決定付け,この特性を試験するために,SHPB(分割Hopkinson圧力バー)法が使用される。本稿では,この方法の原理について概説した後,これに基づくSSHPB/SSHTBシステム(微小分離Hopkinson圧力/引張バー試験)を提案した。SHPB法では,1次元応力波理論に基いて,試料の歪み率,歪み,応力を算出する。そして,この理論を用いた提案システムは,電磁エネルギーで弾を発射する電磁発射装置,弾の運動状態を測定する速度測定装置,弾により衝撃負荷を引張バーに印加するための引張バー装置,圧力バー装置,並びに,信号収集処理装置等から構成される。次に,このシステムを用いて,MEMS材料の動的機械特性を測定する実験を実施した。この実験では,歪み率2×10³S^-1下でニッケル試料を圧縮して,応力-歪み曲線を取得した。応力-歪み曲線から,ニッケルのヤング係数は,約250GPaであることが示された。更に,MEMS部品として,平面S型マイクロバネの特性試験を実施し,バネの応力波の拡散によりバネの変形が,不均一であることを確認した。本調査の結果は,MEMS部品の最適化された設計と製造において有用である。

シソーラス用語： *部品 ,  *MEMS ,  応力波 ,  電磁エネルギー ,  *応力歪曲線 ,  *衝撃荷重 ,  *機械的性質 ,  ニッケル ,  圧縮 ,  *ばね ,  最適化 ,  むら
準シソーラス用語： MEMS部品 ,  *動的機械特性 ,  不均一

分類 (1件)： 材料試験  (HB02020U)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  動的特性 ,  試験法