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J-GLOBAL ID:201302261644381474   整理番号:13A1629878

低コストボンディング手法を用いた60GHzと80GHzでのハイブリッドシリコン-有機パッケージ化アンテナアレイ

Hybrid Silicon-Organic Packaged Antenna Array at 60 and 80GHz Using a Low-Cost Bonding Technique
著者 (6件):
資料名:
巻: 2012 Vol.2  ページ: 1441-1443  発行年: 2012年 
JST資料番号: A0636A  ISSN: 0149-645X  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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金バンプと非導電性膜接着層によって,400μm厚のシリコン基板へボンディングしたフリップチップであるハイブリッドシリコン-有機パッケージ化ミリ波アンテナを示した。シリコン基板をミリ波周波数で有機パッケージとうまく集積化できることを示した。ボンディングプロセスについて述べ,測定結果を示した。15%以上の帯域幅と10dBi以上の利得が得られた。シミュレーションと測定値はよく一致した。
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