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J-GLOBAL ID：201302262122751120   整理番号：13A0152579

重力測定センサとしての新しいチェッカーパターンAlN MEMS共振器

A novel checker-patterned AlN MEMS resonator as gravimetric sensor

著者 (8件)： HEIDARI Amir (Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), Singapore 117685, SGP) ,  HEIDARI Amir (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., Singapore 639798, SGP) ,  YOON Yong-jin (Dep. of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., Singapore 639798, SGP) ,  LEE Man I (Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), Singapore 117685, SGP) ,  KHINE Lynn (Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), Singapore 117685, SGP) ,  PARK Mi Kyoung (Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), Singapore 117685, SGP) ,  TSAI Julius Ming Lin (Inst. of Microelectronics, A*STAR (Agency for Sci., Technol. and Research), Singapore 117685, SGP) ,  TSAI Julius Ming Lin (Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117576, SGP)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 189  ページ： 298-306  発行年： 2013年01月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 質量検知応用のためのチェッカーパターン電極アーキテクチャを有する圧電窒化アルミニウム(AlN)共振器の新しいクラスの設計と実験的な検証を紹介する。開発したセンサの質量感度を解析的に導き,FEMシミュレーションと実験結果で確認した。結果は,773MHzの共振器は175.42μm²/ngとの質量感度と18.7ng/cm²の検出限界を持つことを示した。開発したセンサは現在の質量センサの質量感度よりも2~3倍高く得られた感度を持ち,質量検知応用のための開発した圧電トランスデューサに対する高い可能性を与える。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 重量測定装置 ,  *センサ ,  窒化アルミニウム ,  *共振器 ,  MEMS ,  感度 ,  性能 ,  能力 ,  計算機シミュレーション ,  検出限界 ,  変換器
準シソーラス用語： *重力測定センサ ,  *MEMS共振器 ,  *質量センサ ,  検出感度 ,  FEMシミュレーション ,  圧電トランスデューサ

分類 (2件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 重力 ,  測定センサ ,  チェッカー ,  AlN ,  MEMS共振器