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J-GLOBAL ID：201302262977619148   整理番号：13A0794703

統合圧電抵抗トランスデューサを有するケイ素ナノワイヤと片持ち梁の電気機械スイッチ

SILICON NANOWIRE AND CANTILEVER ELECTROMECHANICAL SWITCHES WITH INTEGRATED PIEZORESISTIVE TRANSDUCERS

著者 (6件)： YANG Rui (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  HE Tina (Case Western Reserve Univ., OH, USA) ,  MARCOUX Carine (CEA-Leti, Grenoble, FRA) ,  ANDREUCCI Philippe (CEA-Leti, Grenoble, FRA) ,  DURAFFOURG Laurent (CEA-Leti, Grenoble, FRA) ,  FENG Philip X.-L. (Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1  ページ： 229-232  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,接触モードのナノ機械スイッチングと,懸架式の薄い(<100nm)ケイ素ナノワイヤ(SiNWs)の高感度統合歪ゲージの結合に基づく,新型電気機械デバイスの実験について説明した。初めに,室温において,高い圧電抵抗(PZR)を有するSiNWsの,機械的歪と電気的輸送の間の興味深い結合効果の測定とモデリングを行なった。その結果,SiNWsの二重固定および機械的’交差’結合片持ち梁の両構造において,接触モードおよび多重反復可能サイクルによるトンネルスイッチングもまた,SiNW PZRトランスデューサを用いて,同時に監視および読み出しできることを証明した。薄いSiNWsに強い圧電抵抗効果が付与されると,この型式のデバイスは,接触モード運転の新しい監視法をもたらすことができる。

シソーラス用語： *電気抵抗 ,  変換器 ,  ケイ素 ,  ナノワイヤ ,  *片持梁 ,  *スイッチ ,  マイクロマシン ,  歪計 ,  圧電気 ,  梁
準シソーラス用語： トランスデューサ ,  ナノ機械 ,  *圧電抵抗

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  梁,桁  (HD03020H) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 統合 ,  圧電抵抗 ,  トランスデューサ ,  ケイ素ナノワイヤ ,  片持ち梁 ,  電気機械